调节高温－汽相－过程的方法及其应用

摘要

本发明涉及到调节高温－汽相－过程的方法如CVD或者CVI借助于红外－光谱学为基础求出测量曲线,这至少有一个对于调节过程有特征的与测量曲线背景有偏差的光谱区。为了将高温－汽相－过程本身随着过程的温度变化也可以最佳和很快地进行调节,建议直接从以有特征的光谱区的开始值和终点值为基础的测量曲线中计算出一条直线和通过在直线上面的光谱区的积分或者通过确定在直线上面的光谱区的最高点或者以直线的光谱区的其他有特征的量为基础进行过程调节。

主权项

1.调节高温-汽相-过程的方法，特别是CVD，LPCVD或者CVI，借助于红外-光谱学的基础上求出的测量曲线，这至少有一个对于调节过程有特征的与测量曲线背景有偏差的光谱区(最高峰)，其特征为，直接以测量曲线有特征的光谱区(最高峰)的开始值和终点值为基础计算出一条直线(合成背景)和过程的调节是通过在直线上面的光谱区的积分或者通过确定在直线上面的光谱区的最大高度或者在光谱区与直线的其他有特征的量为基础进行的。