| 发明名称 | 一种用于器件内壁涂层的台座 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于器件内壁涂层的工具,特别是一种用于器件内壁气相涂层的台座。其技术方案是在台座的基体上分布着多个凹槽,在基体的水平方向贯穿着多个通气孔,凹槽与通气孔之间相互贯通。本实用新型通过台座上设有的通气孔和凹槽相互贯通,增加了气流的流通,使气相涂层在器件内壁形成均匀的涂层。 | ||
| 申请公布号 | CN2487743Y | 申请公布日期 | 2002.04.24 |
| 申请号 | CN01244093.0 | 申请日期 | 2001.07.23 |
| 申请人 | 王光 | 发明人 | 王光;刘仁豪 |
| 分类号 | C23C14/50;C23C16/00 | 主分类号 | C23C14/50 |
| 代理机构 | 东营双桥专利代理有限责任公司 | 代理人 | 侯华颂 |
| 主权项 | 1、一种用于器件内壁涂层的台座，其特征是：在台座的基体上分布着多个凹槽，在基体的水平方向贯穿着多个通气孔，凹槽与通气孔之间相互贯通。 | ||
| 地址 | 257000山东省东营市胜东小区一组团1－58信箱 | ||