发明名称 AQUEOUS RINSING COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP1017770(A4) 申请公布日期 2002.04.24
申请号 EP19980948390 申请日期 1998.09.22
申请人 ARCH SPECIALTY CHEMICALS, INC. 发明人 HONDA, KENJI
分类号 C11D1/68;C11D1/72;C11D3/20;C11D7/26;C11D7/36;C11D7/50;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/304;(IPC1-7):C11D1/68 主分类号 C11D1/68
代理机构 代理人
主权项
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