发明名称 |
AQUEOUS RINSING COMPOSITION |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1017770(A4) |
申请公布日期 |
2002.04.24 |
申请号 |
EP19980948390 |
申请日期 |
1998.09.22 |
申请人 |
ARCH SPECIALTY CHEMICALS, INC. |
发明人 |
HONDA, KENJI |
分类号 |
C11D1/68;C11D1/72;C11D3/20;C11D7/26;C11D7/36;C11D7/50;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/304;(IPC1-7):C11D1/68 |
主分类号 |
C11D1/68 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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