发明名称 METHOD FOR FORMING PNZT SOLUTION AND METHOD FOR FORMING FERROELECTRIC CAPACITOR USING THE SAME SOLUTION
摘要 <p>본 발명은 강유전체 캐패시터의 산소 공공에 의한 누설전류 특성 저하를 방지할 수 있는 PNZT 용액 형성 방법 및 그를 이용한 강유전체 캐패시터 제조 방법에 관한 것으로, Pb-아세테이트를 2-메토시에탄올에 용해하고, 상기 Pb-아세테이트가 용해된 상기 2-메토시에탄올을 Nb-펜타에토사이드와 혼합하여 Pb-Nb 혼합 용액을 형성하는 단계, 각각 프로파놀에 희석된 Zr-노말프로포사이드 및 Ti-이소프로포사이드를 킬레이팅 화제인 에틸아세토아세테이트로 킬레이션시켜 Zr-Ti 혼합 용액을 형성하는 단계, 상기 Pb-Nb 혼합 용액과 상기 Zr-Ti 혼합 용액을 혼합하여 PNZT 용액을 형성하는 단계, 상기 PNZT 용액에 염기성 촉매를 첨가하는 단계 및 상기 PNZT 용액에 건조 제어 화학 첨가제를 첨가하는 단계를 포함하는 PNZT 용액 형성 방법 및 이를 이용한 강유전체 캐패시터 제조 방법을 제공한다.</p>
申请公布号 KR100333669(B1) 申请公布日期 2002.04.24
申请号 KR19990024993 申请日期 1999.06.28
申请人 null, null 发明人 홍권;유용식
分类号 H01L27/105;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8246;H01L27/10 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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