Thin film transistor liquid crystal display and the method for fabricating the same
摘要
<p>본 발명은 미세 공간부를 형성하여 비정질 실리콘의 결정화시에 그레인이 크고 그레인 바운더리가 적은 다결정 실리콘을 형성하는 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 미세 공간부 상에 형성된 다결정 실리콘의 물리적인 변형을 방지하기위해 상기 미세 공간부 내에 브릿지를 형성하는 방법에 관해 개시하고 있다. 그리고, 본 발명은 그레인이 큰 다결정 실리콘 박막을 박막 트랜지스터 및 액정 표시장치에 적용하는 방법에 관해 개시하고 있다.</p>
