用于将汽相产品输送到使用地点的系统及方法

摘要

将汽相产品输送到使用地点的系统和方法以及新颖的化学品就地分配系统和方法。用于输送汽相产品的系统包括：一容纳处于其蒸汽压力下的液体化学品的存储容器；一连接用于容纳来自存储容器的液化状态的化学品的塔，其中该化学品被分离成含杂质的重的液体部分和被净化的轻的蒸汽部分；和一导管，它连接到塔上，用于从其中排出被净化的轻的蒸汽部分。该系统与使用地点连接，用于将被净化的蒸汽部分输送到该处。本发明尤其适用于在半导体制造中将电子特种气体输送到一个或多个半导体加工设备。$#!

主权项

1.一种用于将汽相产品输送到使用地点的系统，该系统包括：一存储容器，容纳处于其蒸汽压力下的液体化学品；连接的一塔，用于容纳来自存储容器的液化状态的化学品，其中该化学品被分离为含杂质的重的液体部分和被净化的轻的蒸汽部分；和一导管，连接到塔上，该导管用于将净化的轻的蒸汽部分从塔中分离出来；其中该系统被连接到使用地点，以将净化的蒸汽部分输送到使用地点。