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发明名称 Semiconductor etching method
摘要
申请公布号 GB2368193(A) 申请公布日期 2002.04.24
申请号 GB20010015878 申请日期 2001.06.28
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 MASAHIKO * OHUCHI
分类号 C23F4/00;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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