| 发明名称 |
METHOD FOR STRUCTURING A METALLIFEROUS LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1145286(A3) |
申请公布日期 |
2002.04.24 |
| 申请号 |
EP19990964395 |
申请日期 |
1999.12.03 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
WEGE, STEPHAN;KRAHL, KERSTIN |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;(IPC1-7):H01L21/311;H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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