发明名称 COMPOSITIONS AND PROCESSES FOR SPIN ETCH PLANARIZATION
摘要
申请公布号 EP1198827(A1) 申请公布日期 2002.04.24
申请号 EP20000947151 申请日期 2000.07.10
申请人 ALLIEDSIGNAL INC. 发明人 LEVERT, JOSEPH;TOWERY, DANIEL, L.
分类号 H01L21/3213;C23F3/00;H01L21/306;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321;C23F3/06 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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