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发明名称
COMPOSITIONS AND PROCESSES FOR SPIN ETCH PLANARIZATION
摘要
申请公布号
EP1198827(A1)
申请公布日期
2002.04.24
申请号
EP20000947151
申请日期
2000.07.10
申请人
ALLIEDSIGNAL INC.
发明人
LEVERT, JOSEPH;TOWERY, DANIEL, L.
分类号
H01L21/3213;C23F3/00;H01L21/306;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321;C23F3/06
主分类号
H01L21/3213
代理机构
代理人
主权项
地址
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