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发明名称
摘要
申请公布号 JP2002512437(A) 申请公布日期 2002.04.23
申请号 JP20000533605 申请日期 1999.02.19
申请人 发明人
分类号 C23C16/02;C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
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