| 主权项 |
1.一种多层印刷电路板,其特征在于,具有:在构成多层印刷电路板中内层的一导体层上形成的、轮廓线内侧为明亮部的空心引导标记;在板厚方向与前述一导体层相邻的导体层上形成的、轮廓线内侧为黑暗部的实心引导标记;在前述多层印刷电路板的板厚方向透视时,前述空心引导标记的轮廓线内部配置前述实心引导标记并且其大小设定为前述空心引导标记的轮廓线避免与前述实心引导标记的轮廓线接触。2.如申请专利范围第1项之多层印刷电路板,其中,前述多层印刷电路板的内层导体图案设计时,配置成在前述多层印刷电路板的板厚方向透视时,使前述空心引导标记轮廓线的图形重心位置与前述实心引导标记轮廓线的图形重心位置一致。3.如申请专利范围第1项之多层印刷电路板,其中,在前述多层印刷电路板的内层导体层上,形成去除导体的多个引导标记框;该引导标记框处于各导体层的相同位置,其所形成的大小纳入在前述多层印刷电路板的板厚方向透视以观测前述引导标记的观测装置中显像部的视野内;在前述引导标记框内配置前述空心引导标记内部配置的前述实心引导标记和前述空心引导标记组成的至少一组引导标记组。4.如申请专利范围第2项之多层印刷电路板,其中,在前述多层印刷电路板的内层导体层上,形成多个去除导体的引导标记框;该引导标记框处于各导体层的相同位置,其所形成的大小纳入在前述多层印刷电路板的板厚方向透视以观测前述引导标记的观测装置中的显像部的视野内;前述引导标记框内配置前述空心引导标记内部配置的前述实心引导标记和前述空心引导标记组成的至少一组引导标记组。5.如申请专利范围第2项之多层印刷电路板,其中,将特定的前述多层印刷电路板内层导体层上形成的前述实心引导标记配置在前述引导标记框的中央。6.如申请专利范围第3项之多层印刷电路板,其中,将特定的前述多层印刷电路板内层导体层上形成的前述实心引导标记配置在前述引导标记框的中央。7.如申请专利范围第4项之多层印刷电路板,其中,将特定的前述多层印刷电路板内层导体层上形成的前述实心引导标记配置在前述引导标记框的中央。8.如申请专利范围第2至7项中任一项之多层印刷电路板,其中,规定内部包含前述空心引导标记的前述轮廓线的轮廓线,使用将2个轮廓线取为2个同心圆的圆环引导标记作为空心引导标记。9.一种多层印刷电路板之层间偏位之测定方法,其特征为:在多层印刷电路板内层的导体层上形成去除导体的多个引导标记框;该引导标记框处于前述各导体层的相同位置,其所形成的大小纳入在前述多层印刷电路板的板厚方向透视以观测前述引导标记的观测装置中显像部的视野内;观测配置在前述引导标记框的内部,由空心引导标记内部配置的前述实心引导标记和前述空心引导标记组成的至少一组引导标记组的引导标记群,并在一次观测中取入一个引导标记群内的全部引导标记组的图像。10.如申请专利范围第9项之层间偏位之测定方法,其中,以配置在前述视野中央部的前述引导标记的位置为基准,计算同一引导标记框内全部引导标记的座标。11.如申请专利范围第9项之层间偏位之测定方法,其中,使用前述引导标记群中包含的前述引导标记的全部座标値或其一部分的座标値,推断内层的座标位置,并确定基准孔座标。图式简单说明:图1为表示本发明实施形态的引导标记的模式图。图2为作为本发明实施形态的各内层板所设引导标记形状和内层板中所形成引导标记群配置例的示意图。图3为表示X射线引导标记观测方法的模式图和说明引导标记像偏差的原理图。图4为表示CCD照相元件摄取引导标记像的模式图和说明图像处理方法的原理图。图5为作为本发明另一实施形态的2种引导标记的说明图。图6为观测本发明引导标记并进行基准孔开孔的基准孔开孔机的立体图。图7为基准孔开孔机的前视图和侧视图。图8为表示基准孔开孔机中可动台位置的俯视图。图9为基准孔开孔机中X移动架台各方向上的投影图。图10为表示多层印刷电路板结构的立体图和俯视图,以及热压作业中所使用夹具板的简图。图11为表示多层印刷电路板结构的剖面图。图12为对分式2孔基准孔开孔机的前视图和俯视图。 |
