| 发明名称 |
MESOPOROUS SILICA FILM FROM A SOLUTION CONTAINING A SURFACTANT AND METHODS OF MAKING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL143589(D0) |
申请公布日期 |
2002.04.21 |
| 申请号 |
IL19990143589 |
申请日期 |
1999.12.23 |
| 申请人 |
BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE |
发明人 |
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| 分类号 |
C01B33/12;B01J19/00;C01B37/02;H01L21/316;(IPC1-7):C01B |
主分类号 |
C01B33/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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