| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF DE CHANGEMENT DE POSITION D'UNE PLAQUE DE SEMI-CONDUCTEUR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2778496(B1) |
申请公布日期 |
2002.04.19 |
| 申请号 |
FR19980005660 |
申请日期 |
1998.05.05 |
| 申请人 |
RECIF |
发明人 |
ASTEGNO PIERRE;ESTEVE EKATERINA;GAUDON ALAIN |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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