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发明名称 DÜNNSCHICHTKONDENSATOREN ÜBER EINEM GALLIUMARSENIDSUBSTRAT UND HERSTELLUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE69522628(T2) 申请公布日期 2002.04.18
申请号 DE19956022628T 申请日期 1995.03.16
申请人 SYMETRIX CORP., COLORADO SPRINGS;MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO.,LTD. 发明人 AZUMA, MASAMICHI;PAZ DE ARAUJO, A.;SCOTT, C.;UEDA, TOSHIYUKI
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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