| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Meßstation zum Testen von Wafern. DOLLAR A Die Meßstation umfaßt ein Drehelement sowie ein Hilfsspannfutter. Das Drehelement ist zum Stützen eines Spannfutters darauf geeignet, wobei das Drehelement relativ drehbar zur Spannfuttervorrichtung (20) ist. Das Hilfsspannfutter ist in der Lage, sich relativ zu der Spannfuttervorrichtung zu drehen. |
