Sensorbauteil mit einem in einem Kanal isoliert, umströmbar gelagerten, elektrisch leitenden, länglichen Element und Herstellverfahren hierfür

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Erzeugen eines Sensorbauteiles mit einem umströmbar gelagerten, elektrisch leitenden, länglichen Element in einem Kanal, bei dem nach dem Abscheiden einer Isolationsschicht und einem darauf folgenden Abscheiden einer elektrisch leitenden Beschichtung auf einem Hilfssubstrat die elektrisch leitende Beschichtung bis auf zur Bildung des länglichen Elementes und dessen Zuleitungen benötigte Restbereiche unter Strukturierung weggeätzt wird. DOLLAR A Um ein solches Verfahren vergleichsweise einfach durchführen zu können, wird erfindungsgemäß unmittelbar nach der Strukturierung auf die die Restbereiche (8a) und (8b) tragende Seite (9) des Hilfssubstrats (1) ein Abdeckteil (10) befestigt, das einen Hohlraum (12) um die Restbereiche (8a) und (8b) bildet. Das Hilfssubstrat (1) wird bis auf eine den Restbereichen (8a) und (8b) der elektrisch leitenden Beschichtung (6) unmittelbar benachbarte Tragschicht (2) weggeätzt, die in der Nähe der Restbereiche (8a) und (8b) unter Erzielung der umströmbaren Lagerung des länglichen Elements (13) weggeätzt wird. Abschließend wird ein Deckelteil (14) auf die benachbarte Tragschicht (2) aufgebracht. DOLLAR A Die Erfindung bezieht sich ferner auf ein nach dem obigen Verfahren hergestelltes Sensorbauteil.