Multifunktions-Reinigungsmodul einer Herstellungseinrichtung für Flachbildschirme und Reinigungsgerät mit Verwendung desselben

摘要

Das Multifunktions-Reinigungsmodul weist eine Mehrzahl von Luftvorhängen, eine Exzimer-Ultraviolettlicht-Ausstrahlungsvorrichtung, eine Bürste, eine Hochgeschwindigkeits-Abduschvorrichtung und eine Luftbürste auf, die ununterbrochen auf einer Ebene angeordnet sind, wobei die Glassubstrate ununterbrochen in sie eingeführt werden. DOLLAR A Das Reinigungsgerät zur Verwendung des Multifunktions-Reinigungsmoduls weist ein Antriebsteil mit Lade- und Entladeabschnitten sowie das Multifunktions-Reinigungsmodul auf.