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发明名称 EPITAXIAL OXIDE FILMS VIA NITRIDE CONVERSION
摘要 <p>The present invention relates to oxide on suitable substrates, as converted from nitride precursors.</p>
申请公布号 WO2002031893(A1) 申请公布日期 2002.04.18
申请号 US2001031924 申请日期 2001.10.12
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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