| 发明名称 |
MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICES AND METHODS OF MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1196349(A1) |
申请公布日期 |
2002.04.17 |
| 申请号 |
EP20000945011 |
申请日期 |
2000.06.29 |
| 申请人 |
REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MINNESOTA |
发明人 |
SCHILLER, PETER, J. |
| 分类号 |
B81B3/00;(IPC1-7):B81B3/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
