| 发明名称 | 多功能清洗模块及应用该模块的清洗设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种多功能清洗模块,包括:多个气帘、eximer紫外光照射装置、刷、高速喷淋装置、和空气刮刀,在此这些部件被连续的布置在一个平面上,而玻璃基片可以被连续地插入它们之中。也公开了一种应用该多功能清洗模块的清洗设备,其包括:执行装载和卸载玻璃基片的驱动部以及所述多功能清洗模块。 | ||
| 申请公布号 | CN1344590A | 申请公布日期 | 2002.04.17 |
| 申请号 | CN01123278.1 | 申请日期 | 2001.06.29 |
| 申请人 | 株式会社D.M.S | 发明人 | 朴庸硕;韩占烈;金贞真;朴炳厚 |
| 分类号 | B08B11/00 | 主分类号 | B08B11/00 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李瑞海 |
| 主权项 | 1.一种用于平板显示器的多功能清洗模块，包括：多个气帘；eximer紫外光照射装置；刷；高速喷淋装置；以及V型空气刮刀，其中，气帘、eximer紫外光照射装置、刷、高速喷淋装置、和空气刮刀被连续地布置在一个平面上，而玻璃基片可以被连续地插入它们之中。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||