电子发射器件及其成象设备的制造方法

摘要

用于形成电子发射器件的电子发射器的溶液，它包含由公式(R(COO)_k)_mM所表示的金属羧酸盐、有机溶剂和/或水；其中k与m是1到4的数，R＝C_X2n＋1－k，X是氢或卤(总原子数是2n＋1)，n是0到30的整数，M代表金属。制造电子发射器件的方法，该器件在其电极间具有包含了电子发射区的导电膜，该导电膜的形成工艺中包括涂敷和煅烧上述溶液。利用这种电子发射件制成成象设备。电子发射区形成膜的表面电阻率值及器件的特性变化被降低。

主权项

1.一种制造电子发射器件的方法，每个电子发射器件都位于电极之间并且具有包括一个电子发射区的导电膜，所述电子发射器件能够从电子发射区向其外面发射电子，所述方法包括用来形成将在其中形成电子发射区的导电膜的工艺，包括步骤：涂敷和煅烧一种包括由下面一般公式(I)表示的金属羧酸盐、羧酸酯和/或水的溶液：(R(COO)k)mM (I)其中k＝从1到4的整数，m＝从1/4到4的数，以及R＝CnX2n+2-k或C6H6-k，这里X＝氢或卤素，n＝从0到30的整数，以及M＝金属，假设当n＝0时，k＝1或2；和形成电子发射区。