Method for the manufacture of windows transparent to electron beams and windows transparent to electron beams

摘要

Die Erfindung betrifft ein elektronenstrahltransparentes Fenster umfassend eine elektronenstrahltransparente Folie (1; 101) sowie ein Element (2; 102) zur Unterstützung eines peripheren Bereichs (1a, 1b) der elektronenstrahltransparenten Folie im Betriebszustand aus einem Material, welches einen größeren linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten als der des Folienmaterials aufweist, mit einer Zwischenschicht (4; 104a,b) zwischen der Folie (1; 101) und einem Halteelement (2; 102) als Unterstützungselement, die aus einem Material besteht mit einem linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten, der, gesehen über den Bereich der Verarbeitungstemperaturen, gleich oder ähnlich ist zu dem linearen Wärmeausdehnungskoeffizient des Folienmaterials und kleiner ist als der lineare Wärmeausdehnungskoeffizient des Materials des Halteelementes. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Herstellung eines elektronentransparenten Fensters und einen Röntgenstrahler mit einem elektronentransparenten Fenster. <IMAGE>