用于扫描探针显微镜的可升温样品平台

摘要

本发明涉及的可升温样品平台,包括铜块样品台、加热元件、测温传感元件及加热、控温电路等,其内装有加热元件的铜块样品台固定在空心支撑件上端盖上,其露出支撑件中外的端部安装测温传感元件,位于支撑件内的外表面上覆有绝热材料,绝热材料底部与支撑件之间留有间隙,支撑件底端固定在绝热基底上;其结构简单、价格低廉,测温精度高,动态响应速度快,变温范围宽,不需增加任何辅助设备,便适用所有普通扫描探针显微镜。

主权项

1.一种用于扫描探针显微镜的可升温样品平台，包括铜块样品台1、加热元件3、绝热材料4、测温传感元件7及对加热元件3进行加热和控温的加热、控温电路9，还包括支撑件2和绝热基底5，铜块样品台1为一空心圆柱体或空心立方体，加热元件3位于铜块样品台1的空心腔体中，其内装有加热元件3的铜块样品台1固定装嵌在空心支撑件2的上端盖上，铜块样品台1露出空心支撑件2之外的端部安装测温传感元件7，位于空心支撑件2之内部分的外表面上覆有耐高温的绝热材料4，绝热材料4底部与空心支撑件2留有间隙；加热元件3输入、输出端引线穿过绝热材料4及空心支撑件2体壁上的小孔8伸出空心支撑件2体外，连接加热、控稳电路9，空心支撑件2的底端固定在绝热基底5上。