发明名称 Pedestal
摘要
申请公布号 GB0204882(D0) 申请公布日期 2002.04.17
申请号 GB20020004882 申请日期 2002.03.01
申请人 TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED 发明人
分类号 B23Q1/01;H01L21/00 主分类号 B23Q1/01
代理机构 代理人
主权项
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