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发明名称 Device for producing an atom -or radical beam
摘要
申请公布号 EP0938251(A3) 申请公布日期 2002.04.17
申请号 EP19990102070 申请日期 1999.02.02
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH 发明人 TSCHERSICH, KARL G., DR.;FLEISCHHAUER, JOHANNES
分类号 H05H3/02;(IPC1-7):H05H3/02 主分类号 H05H3/02
代理机构 代理人
主权项
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