发明名称 PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP1059564(A4) 申请公布日期 2002.04.17
申请号 EP19990961329 申请日期 1999.12.22
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LIMITED 发明人 KURISAKI, MINORU;HARADA, TAKAMASA;KUDO, TAKANORI;TAKEDA, TAKASHI;FUKUZAWA, JUNICHI
分类号 H01L21/027;C08K5/41;C08L25/18;C08L33/04;C08L101/06;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/023;G03F7/033;G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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