发明名称 PHOTORESIST STRIPPER AND METHOD OF STRIPPING
摘要
申请公布号 EP1054297(A4) 申请公布日期 2002.04.17
申请号 EP19990957400 申请日期 1999.12.01
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LIMITED 发明人 TAKEDA, TAKASHI;ARANO, AKIO
分类号 G03F7/42;(IPC1-7):G03F7/42;H01L21/027 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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