| 发明名称 |
Process for the manufacture by casting of a sputtering cathode of a vacuum coating apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0770701(B1) |
申请公布日期 |
2002.04.17 |
| 申请号 |
EP19960113280 |
申请日期 |
1996.08.20 |
| 申请人 |
UNAXIS MATERIALS DEUTSCHLAND GMBH |
发明人 |
WOLLENBERG, NORBERT |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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