磷化镓发光组件的制造方法以及制造装置

摘要

让GaP磊晶晶圆之第一主表面侧接触于Ga溶液,对于与该Ga溶液相接之周围环境气氛供给作为氮源之NH₃气体,以进行N掺杂之GaP层的液相磊晶生长。接着,于该制程中使得Ga溶液之周围环境气氛之氨浓度做阶段性或连续性的增加。

主权项

1.一种磷化镓发光组件的制造方法，系具有一磷化镓层之液相磊晶生长制程；其特征在于，前述液相磊晶生长制程，系包含一以氨气为氮源使用之氮掺杂之磷化镓层之生长制程，在该氮掺杂之磷化镓层生长之际，让前述液相磊晶生长暂时停止，在该状态下将前述周围环境气氛之氨浓度做阶段性或连续性的增加。