有机电致发光元件制程的基板传送装置

摘要

本设计揭示一种有机电致发光显示器制程的基板传送装置,包括一设于制程机台前侧,具有缓冲效果的基板定位转换腔。本设计于传送过程中因保持真空或充满可保护基板的气体,可使基板免遭外界大气污染,且由于各模组的制程可独立操作、增加制程操作弹性,使各制程设备的厂房配置更具空间效益。

主权项

1、一种有机电致发光显示器制程的基板传送装置，其特征在于，该装置主要包括：一基板传动腔，该基板传动腔由一壳体形成一密闭空间，其内部可容置基板，该壳体另一设有开口，而该开口具有一闸门；至少一制程区，该制程区由一壳体形成一密闭空间，该壳体另设有一开口，而该开口具有一闸门，该制程区内部尚包括一制程机台；及一用以将该基板传动腔移至该制程机台的移动单元，该基板传动腔移动开口对应于该制程机台开口位置；一用以衔接该基板传动腔移动开口与该制程机台开口的衔接单元；及一用以控制该基板传动腔密闭空间及/或该制程区密闭空间内部环境的环境控制单元。