| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCTION OF THREE-DIMENSIONALLY ARRANGED CONDUCTING AND CONNECTING STRUCTURES FOR VOLUMETRIC AND ENERGY FLOWS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1196820(A2) |
申请公布日期 |
2002.04.17 |
| 申请号 |
EP20000991054 |
申请日期 |
2000.12.08 |
| 申请人 |
GOETZEN, REINER |
发明人 |
MICROTEC GESELLSCHAFT FUER MIKROTECHNOLOGIE MBH |
| 分类号 |
H01L21/268;B01J4/00;B29C67/00;G03F7/00;H01L23/538;H01P3/12;H01P11/00;H05K1/09;H05K3/00;H05K3/02;H05K3/46;(IPC1-7):G03F1/00 |
主分类号 |
H01L21/268 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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