| 发明名称 |
Antireflective composition |
| 摘要 |
<p>Disclosed are new antireflective compositions including organo polysilica materials including one or more chromophores. Also disclosed are methods of forming relief images using these antireflective compositions.</p> |
| 申请公布号 |
EP1197511(A1) |
申请公布日期 |
2002.04.17 |
| 申请号 |
EP20010308630 |
申请日期 |
2001.10.09 |
| 申请人 |
SHIPLEY COMPANY LLC |
发明人 |
GALLAGHER, MICHAEL K.;YOU, YUJIAN |
| 分类号 |
C09D5/32;B05D5/06;B05D7/24;C08G77/04;C09D5/33;C09D127/12;C09D133/16;C09D183/04;C09D201/04;G02B1/11;G03F7/09;(IPC1-7):C08G77/04;C08L83/04;G03F7/075 |
主分类号 |
C09D5/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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