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发明名称 METHOD FOR FORMING HIGH-DENSITY HIGH-CAPACITY CAPACITOR
摘要
申请公布号 SG87922(A1) 申请公布日期 2002.04.16
申请号 SG20010001496 申请日期 2001.03.13
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING, LTD 发明人 JIE YU;YALEHANKA RAMACHANDRAMURTHY PRADEEP;HENRY GERUNG;JUN QIAN
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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