| 发明名称 |
SELECTIVE ETCHING OF UNREACTED NICKEL AFTER SALICIDATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG87935(A1) |
申请公布日期 |
2002.04.16 |
| 申请号 |
SG20010003339 |
申请日期 |
2001.06.05 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD |
发明人 |
SUBHASH GUPTA;MEI-SHENG ZHOU;SIMON CHOOI;SANGKI HONG |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/3213;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/476 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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