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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM REGELN DER TEMPERATUR EINER REAKTORWAND
摘要
申请公布号 AT215998(T) 申请公布日期 2002.04.15
申请号 AT19960108108T 申请日期 1996.05.21
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 CARLSON, DAVID K.;RILEY, NORMA;ANDERSON, ROGER N.
分类号 C23C16/48;C23C16/52;C30B25/10;H01L21/00;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/46 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
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