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发明名称
摘要
申请公布号 JP3275360(B2) 申请公布日期 2002.04.15
申请号 JP19920108580 申请日期 1992.03.31
申请人 发明人
分类号 C23C14/22;C23C14/02;C23C14/58;C23C16/02;C23C16/56;(IPC1-7):C23C14/02 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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