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发明名称
摘要
申请公布号 JP3275099(B2) 申请公布日期 2002.04.15
申请号 JP19910322090 申请日期 1991.12.05
申请人 发明人
分类号 G01B7/00;G01D3/036;G01D5/20;H01L43/02;(IPC1-7):H01L43/02 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
主权项
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