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发明名称 LOAD PORT FOR OPEN CASSETTE
摘要
申请公布号 JP2002110758(A) 申请公布日期 2002.04.12
申请号 JP20000289338 申请日期 2000.09.22
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 SASAKI TAKESHI;SAWATO KAZUTOSHI
分类号 H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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