发明名称 施加黏合材料用于微晶片与基体间的连接之方法,制造微晶片与基体间的电气与机械连接之方法,及依据喷墨原理动作的印刷头之使用
摘要 本发明与施加黏合材料以连接微晶片与基体的方法有关,将做为电气连接的导电黏合材料与做为机械连接的填充材料施加于微晶片及/或基体。导电黏合材料(3)及/或填充材料(5)藉由至少一个按照喷墨原理动作的印刷头(9)连续地或同时地喷到基体(6)及/或微晶片(1)。
申请公布号 TW483075 申请公布日期 2002.04.11
申请号 TW089113633 申请日期 2000.07.31
申请人 艾科拉伊杜克弗股份有限公司 发明人 沃夫根 威尔
分类号 H01L21/58;H01L21/60;B41J2/005 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种施加连接微晶片与基体之黏合材料的方法, 在微晶片及/或基体上施加用于电气连接的导电材 料以及用于机械连接基体与微晶片的填充材料,其 特征在于,导电黏合材料(3)及/或填充材料(5)藉由 至少一个按照喷墨原理动作的印刷头(9)连续地或 同时地喷到基体(6)及/或微晶片(1)。2.如申请专利 范围第1项的方法,其中从印刷头(9)喷出的液态黏 合材料(3.5)是呈滴状。3.如申请专利范围第1项或 第2项的方法,其中辅助液体,例如助焊剂,藉由印刷 头(9)一同喷到基体(6)及/或微晶片(1)上用以连接。 4.如申请专利范围第1项或第2项的方法,其中使用 一个或多个印刷头(9)喷出黏合材料(3.5)。5.如申请 专利范围第1项或第2项的方法,其中导电黏含材料( 3)使用金属焊料,填充材料(5)使用玻璃,金属焊料与 玻璃呈高温液状以便喷出。6.一种用以在微晶片 与基体间制造电气及机械连接的方法,其步骤如下 : -藉由按照喷墨原理动作的印刷头(9)将导电黏合材 料(3)与可做为机械连接的黏合材料(5)施加到基体( 1)及/或微晶片(6); -基体(6)与微晶片(1)其中之一定位于另一个上方的 正确位置,微晶片(1)的电气接点区(2)及基体(6)的电 气接点区(8)上配置有导电黏合材料(3.5),且微晶片( 1)上的电气接点区(2)分别与基体(6)上匹配的电气 接点区(8)相互面对,以及 -接着,加热由微晶片(1)与基体(6)其中之一覆于另 一个之上所构成的封装(7),以使电气及机械黏合材 料(3.5)再度变为液体。7.如申请专利范围第6项的 方法,其中导电黏合材料(3)是使用金属焊料。8.如 申请专利范围第6或7项的方法,其中机械连接所使 用的黏合材料(5),当它的物理状态从液体改变成固 体时,即在基体(6)与微晶片(1)邻接的表面上产生黏 合效果。9.如申请专利范围第6或7项的方法,其中 机械连接所使用的黏合材料(5),以低熔点的玻璃为 佳。10.如申请专利范围第6或7项的方法,其中复数 个微晶片(1)呈一晶圆型态,每一个微晶片(1)被连接 到基体(6)。11.如申请专利范围第6或7项的方法,其 中印刷头(9)具有复数个喷孔(11),以具有不同之截 面大小为佳,黏合材料(3.5)从喷孔喷到基体(6)及/或 微晶片(1)上。12.一种按照喷墨原理动作的印刷头( 9),它具有至少一个具有可偏移之隔膜(12)的媒体室 (10),隔膜(12)藉由致动器(13)偏移,致动器(13)与隔膜( 12)间热去耦,且媒体室(10)内含要被施加于基体(6) 及/或微晶片(1)之高温液相的黏合材料(3.5)。图式 简单说明: 图1简单显示微晶片的表面上已喷有黏合材料, 图2显示图1的微晶片,此微晶片连接到一基体上;以 及 图3显示按照喷墨原理动作的印刷头。
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