| 主权项 |
1.一种单结晶把持装置,包括: 结晶拉引缆线,以拉引在融液中浸渍的种结晶; 缆线卷取装置,卷取该结晶拉引缆线; 多角形连杆体,连结复数连杆构成,且藉由改变连 杆销的位置而可在水平面内变形; 多角形连杆体变形装置,在该多角形连杆体内部, 使多角形连杆体变形,以把持该拉引中的单结晶的 端部附近;以及 回转昇降装置,使该多角形连杆体的昇降和回转与 该结晶拉引缆线的卷取和回转同步。2.如申请专 利范围第1项所述的单结晶把持装置,更包括: 拉引缆线用测力器,以侦测施加于该结晶拉引缆线 的荷重; 合计荷重用测力器,以侦测施加于该结晶拉引缆线 和该多角形连杆体的合计荷重;以及 控制装置,控制施加于该结晶拉引缆线的荷重和施 加于该多角形连杆体的荷重之间的比率的装置,以 防止该拉引中的单结晶的破损。3.如申请专利范 围第1项所述的单结晶把持装置,其中可自由昇降 的车架设置有: 该结晶拉引缆线卷取装置; 真空容器,具有该多角形连杆体,且以气密方式安 装在单结晶制造装置的上部; 合计荷重用测力器,侦测施加于该真空容器荷重; 以及 真空容器回转机构,回转该真空容器。4.如申请专 利范围第1项所述的单结晶把持装置,其中具有多 角形连杆体驱动机构,且该多角形连杆体驱动机构 由液压引动器或马达以及被垂直地把持在该单结 晶制造装置中且藉由该马达或该液压引动器而在 该水平方向上移动的二把持杆所构成;且位于该多 角形连杆体的对向位置的连杆销连接至该等把持 杆的下端。5.如申请专利范围第1项所述的单结晶 把持装置,其中具有多角形连杆体驱动机构,且该 多角形连杆体驱动机构由二缆线卷筒、从该等卷 筒垂下的二多角形连杆体驱动缆线、安装在该真 空容器下端的复数滑轮、随着该等多角形连杆体 驱动缆线的卷取而纵向移动该多角形连杆体的连 杆销的导板所构成;且位于该多角形连杆体的对向 位置的连杆销连接至该等把持杆的下端。6.如申 请专利范围第1项所述的单结晶把持装置,其中该 多角形连杆体系调整连杆内部的间隔,俾具有藉由 冷却来使该单结晶收缩而于单结晶把持装置的把 持力下降的场合的把持力回复机能,进而维持该把 持力直到被拉引的单结晶从该单结晶制造装置中 取出。7.如申请专利范围第1项所述的单结晶把持 装置,其中具有用以该把持单结晶缩小部的圆弧形 断面的把持构件被安装在构成该多角形连杆体的 连杆的内侧面。8.一种单结晶把持方法,包括下列 步骤: 准备步骤,准备单结晶把持装置,其具有被固定至 可自由昇降的车架而包围把持该单结晶的多角形 连杆体以及卷取用以拉引种结晶的拉引缆线的缆 线卷取装置; 形成步骤,经由该拉引缆线拉引浸渍在融液中的单 结晶,且经由该卷取装置卷取,而由该种结晶来成 长单结晶; 单结晶把持步骤,调整该车架的昇降速度和该缆线 卷取装置的拉引缆线的卷取速度,而于相对地使该 多角形连杆体靠近该单结晶的上端后,藉由使把持 杆在水平方向上移动或角角形连杆体驱动缆线的 卷取而使该多角形连杆体变形,以把持该单结晶本 体;以及 拉引步骤,藉由使该车架上升而拉引该单结晶。9. 如申请专利范围第8项所述的单结晶把持方法,其 中该单结晶把持步骤系形成在该单结晶肩部和颈 部之间的缩小部或形成在该单结晶本体中的缩小 部由安装在该多角形连杆体的内侧面的把持构件 所把持。10.如申请专利范围第8项所述的单结晶把 持方法,其中拉引步骤系更包括控制步骤,其控制 该车架的上升速度和该卷取装置的卷取速度的步 骤,俾于单结晶的成长中,使该单结晶重量的一部 份或全部由单结晶把持装置所负担,且负担重量的 一部份的场合,颈部不破断的重量由颈部所负担。 图式简单说明: 第1图是第一实施例的单结晶把持装置的概略构成 的纵剖面图; 第2图是多角形连杆体的立体图; 第3图是多角形连杆体的等边连杆的内侧面形状的 一例的说明图; 第4图是多角形连杆体的等边连杆的内侧面形状的 另一例的说明图; 第5图是多角形连杆体的变形状态的说明图,其中(a )为把持单结晶前,(b)为把持单结晶后; 第6图是第二实施例的单结晶把持装置的下部构造 的模式图; 第7图是第三实施例的单结晶把持装置的下部构造 的立体图; 第8图是安装有多角形连杆体的第三实施例的单结 晶把持装置的图示,其中(a)为上视图,(b)为(a)中线A- A的剖面图; 第9图是应用本发明的单结晶把持装置的单结晶把 持方法的其他实施例的说明图; 第10图是应用本发明的单结晶把持装置的单结晶 把持方法的其他实施例的说明图; 第11图是第四实施例的单结晶把持装置的上部构 造的上视图; 第12图是从第11图中Z方向所观察的视图; 第13图是第五实施例的单结晶把持装置的概略构 成的纵剖面图; 第14图是从第13图中Z方向所观察的视图;以及 第15图是导板的上视图。 |
