Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Erfassung der Form und/oder Formveränderung von Prüflingen,申请号DE1995124036-传众专利搜索

发明名称	Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Erfassung der Form und/oder Formveränderung von Prüflingen
摘要
申请公布号	DE19524036(C2)	申请公布日期	2002.04.11
申请号	DE1995124036	申请日期	1995.07.01
申请人	FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.	发明人	EVERTZ, JENS;TUTSCH, RAINER;PFEIFER, TILO
分类号	G01B9/02;G01B11/16;(IPC1-7):G01B11/24;G01B11/30;G01J3/427;G01M11/08;G02B27/48	主分类号	G01B9/02
代理机构		代理人
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