发明名称 Antireflexionszusammensetzungen
摘要
申请公布号 DE69232467(D1) 申请公布日期 2002.04.11
申请号 DE19926032467 申请日期 1992.10.22
申请人 SHIPLEY CO., INC. 发明人 THACKERAY, JAMES W.;ORSULA, GEORGE W.
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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