发明名称 |
Antireflexionszusammensetzungen |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69232467(D1) |
申请公布日期 |
2002.04.11 |
申请号 |
DE19926032467 |
申请日期 |
1992.10.22 |
申请人 |
SHIPLEY CO., INC. |
发明人 |
THACKERAY, JAMES W.;ORSULA, GEORGE W. |
分类号 |
G03F7/004;G03F7/038;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/09 |
主分类号 |
G03F7/004 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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