发明名称 Integrierte Schaltung mit verbesserter Kontaktbarriere
摘要
申请公布号 DE69427959(T2) 申请公布日期 2002.04.11
申请号 DE1994627959T 申请日期 1994.12.22
申请人 STMICROELECTRONICS, INC. 发明人 DE-DUL, LIAO;YIH-SHUNG, LIN
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/485;H01L23/532;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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