| 摘要 |
<p>L'invention concerne un compteur de particules de condensation qui mesure le nombre de particules ultrafines par l'intermédiaire de leur croissance au cours d'un processus de condensation. Le compteur comprend un tube capillaire dans lequel de la vapeur du liquide de fonctionnement est condensée et les particules ultrafines croissent. Une matière isolante entoure le tube capillaire pour bloquer un flux thermique entre ledit tube et l'environnement. Selon la présente invention, ce compteur de particules de condensation peut employer divers liquides de fonctionnement, notamment l'alcool et l'eau, et on peut l'utiliser dans des salles blanches de semi-conducteurs.</p> |
