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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Zünden von Plasmen in einem Process modul
摘要
申请公布号 DE69523488(T2) 申请公布日期 2002.04.11
申请号 DE19956023488T 申请日期 1995.01.19
申请人 TOKYO ELECTRON AMERICA INC., AUSTIN 发明人 WESTENDORP, HAN;MEILING, HANS;VANDERPOT, JOHN W.;BERRIAN, DONALD
分类号 H05H1/46;C23C14/34;C23C16/48;C23C16/50;C23C16/505;C23C16/509;C23C16/517;C23F4/00;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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