摘要 |
Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur absoluten Positionsbestimmung zweier zueinander beweglicher Objekte über eine bestimmte Messdistanz angegeben. Hierbei werden aus der Abtastung einer ersten Messteilung mit einer ersten Teilungsperiode erste periodische Abtastsignale erzeugt; aus der Abtastung einer zweiten Messteilung mit einer zweiten Teilungsperiode resultieren zweite periodische Abtastsignale, wobei die zweite Teilungsperiode feiner als die erste Teilungsperiode gewählt ist. Die ersten und zweiten Abtastsignale werden jeweils interpoliert und anschließend die ersten und/oder zweiten Abtastsignale in Bezug auf eine ideale Phasenlage zueinander korrigiert, indem die ersten und/oder zweiten interpolierten Abtastsignale mit Phasenkorrekturwerten beaufschlagt werden. Hierzu wird ein Phasenkorrekturwert für mindestens einen Teilabschnitt bestimmt, wobei sich der Phasenkorrekturwert als Mittelwert aus der maximalen und minimalen Phasenlageabweichung der Ist-Phasenlage von der Soll-Phasenlage ergibt (Figur 1).
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