发明名称 GAS INSENSITIVE INTERFEROMETRIC APPARATUS AND METHODS
摘要
申请公布号 EP1194732(A1) 申请公布日期 2002.04.10
申请号 EP20000916204 申请日期 2000.03.10
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人 HILL, HENRY, ALLEN
分类号 G01B9/02;G01J9/02;G01N21/41;G01N21/45;G03F7/20;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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