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发明名称
GAS INSENSITIVE INTERFEROMETRIC APPARATUS AND METHODS
摘要
申请公布号
EP1194732(A1)
申请公布日期
2002.04.10
申请号
EP20000916204
申请日期
2000.03.10
申请人
ZYGO CORPORATION
发明人
HILL, HENRY, ALLEN
分类号
G01B9/02;G01J9/02;G01N21/41;G01N21/45;G03F7/20;(IPC1-7):G01B9/02
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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