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发明名称 Apparatus for coating substrates in a vacuum chamber
摘要
申请公布号 EP0984076(B1) 申请公布日期 2002.04.10
申请号 EP19990110375 申请日期 1999.05.28
申请人 UNAXIS DEUTSCHLAND HOLDING GMBH 发明人 BRAEUER, GUENTER, DR.;KLOBERDANZ, HERMANN ,DR.;LOTZ, HANS GEORG, DR.;SCHNEIDER, JOCHEN;ZOELLER, ALFONS;HAGEDORN, HARRO, DR.;KOENIG, MICHAEL;MEINEL, JUERGEN;TESCHNER, GOETZ
分类号 C23C14/56;C23C16/44;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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