| 发明名称 |
Device for shaping a beam of charged particles and method for manufacturing the device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2367689(A) |
申请公布日期 |
2002.04.10 |
| 申请号 |
GB20010021380 |
申请日期 |
2001.09.04 |
| 申请人 |
* ADVANTEST CORPORATION |
发明人 |
HARUNOBU * MUTO;HIROSHI * YANO |
| 分类号 |
G03F7/20;G21K1/02;G21K5/00;H01J9/14;H01J37/09;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/09;G03F1/16;H01J9/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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