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发明名称 INSTALLATION AND METHOD FOR VACUUM TREATMENT OR THE PRODUCTION OF POWDER
摘要
申请公布号 EP1194611(A1) 申请公布日期 2002.04.10
申请号 EP20000938445 申请日期 2000.07.04
申请人 UNAXIS BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 KARNER, JOHANN;PEDRAZZINI, MAURO
分类号 C23C16/50;C23C16/44;C23C16/513;(IPC1-7):C23C16/513 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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